高纯氟气

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2021/09/13
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详细介绍

半导体材料头.jpg

氟气（F₂），相对分子量为38.00，沸点为-188℃，溶于水，是一种具有刺激性气味的强氧化性浅黄色有毒气体。氟气化学性质异常活泼，几乎能与所有的元素发生反应，被誉为自然界中最活泼的物质。氟气可以赋予含氟材料和含氟化学品许多优异的性能，在信息、电子和化工领域应用广泛。高纯氟气作为化学气相沉积反应腔室的清洗剂，具有很强的反应活性且不会造成温室效应，在半导体领域极具市场潜力。

产品指标

项目Items	单位Units	指标Index
氟气（F2）Fluorine	Vol.%	≧99%	≧99.99%
四氟化碳（CF4）Carbon tetrafluoride	Vol.%	≤0.1%（v/v）	≤0.001%（v/v）
空气（Air）	Vol.%	≤0.5%（v/v）	≤0.006%（v/v）
氟化氢（HF）Hydrogen fluoride	Vol.%	≤0.2%（v/v）	≤0.001%（v/v）
二氧化碳（CO2）Carbon dioxide	Vol.%	≤0.1%（v/v）	≤0.001%（v/v）
六氟化硫（SF6）Sulfur hexafluoride	Vol.%	≤0.1%（v/v）	≤0.001%（v/v）

产品用途

氟气因其特殊的性质，可用作化学气相沉积反应腔室的清洗剂，也可作为氟化试剂用于无机含氟材料、有机含氟材料、半导体材料制造领域。氟气被广泛应用于电子、激光技术、医药、塑料、石油化工、航空航天等领域，是化工领域的重要原料。

包装、贮藏

高纯氟气压缩充入钢瓶中，在包装贮存氟气之前要对其储运钢瓶内壁进行有效的钝化处理。具体包装规格可根据用户要求定制。高纯氟气存储于阴凉、通风仓库内，仓库温度不应超过30℃，远离火种热源，与易燃或可燃物、金属粉末等分开存放，并防止阳光直射。

山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室，能够大批量生产供应高品质氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料规模化生产线，为公司在锂氟化碳一次电池（BR电池）及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

公司成立于2015年，坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内，项目投资15亿元，占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队，平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年，公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目，成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有：特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。