五氟化钽

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2021/09/13
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详细介绍

半导体材料头.jpg

五氟化钽（TaF₅），相对分子量为276，熔点为96.8℃，沸点为229.5℃，常温下是一种白色结晶，折光能力强。五氟化钽微溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚、氢氟酸、硝酸、发烟硝酸，在空气中吸湿而不水解。高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。五氟化钽在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上，可形成附着力极强、厚度为0.1μm级的绝缘薄膜，具有高的介电率。

产品指标

项目Items	单位Units	指标Index
五氟化钽Tantalum pentafluoride≥	Vol.%	99.9
四氟化碳Carbon tetrafluoride（CF4）≤	Vol.ppm	10
氮气Nitrogen（N2）≤	Vol.ppm	50
（氧+氩）Oxygen+Argon（O2+Ar）≤	Vol.ppm	50
六氟化硫Sulfur hexafluoride（SF6）≤	Vol.ppm	10
四氟化硅Silicon tetrafluoride（SiF4）≤	Vol.ppm	10
氟化氢Hydrogen fluoride（HF）≤	Vol.ppm	800

产品用途

五氟化钽在电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

包装、贮藏

五氟化钽储存于4.64L、10.2L、44L钢瓶中，具体包装规格可根据用户需求定制更改。五氟化钽贮存于阴凉、干燥的库房中，确保有良好的通风。

山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室，能够大批量生产供应高品质氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料规模化生产线，为公司在锂氟化碳一次电池（BR电池）及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

公司成立于2015年，坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内，项目投资15亿元，占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队，平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年，公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目，成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有：特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。