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高纯氢(H2)是一种无色无臭的可燃气体,在空气中的可燃极限为4.1%~74.1%(体积浓度),其自燃温度为571.2℃,沸点为-252.8℃,熔点为-259.2℃。常温下,氢气的性质很稳定,不容易跟其它物质发生化学反应。高纯氢在电子微芯片等行业中有着非常重要的应用,在一些电子材料的生长与衬底的制备、氧化工艺、外延工艺以及化学气相沉积(CVD)技术中,均要采用氢气作为反应气、还原气或保护气。
产品指标
项目Items | 单位Units | 指标Indexs | ||
超纯氢 Ultra pure hydrogen | 高纯氢 High pure hydrogen | 纯氢 Pure hydrogen | ||
氢Hydrogen(H2)≥ | Vol.% | 99.9999 | 99.999 | 99.99 |
氧、氩 Oxygen, Argon(O2、Ar)≤ | Vol.ppm | 0.2 | 1 | 5 |
氮气Nitrogen(N2)≤ | Vol.ppm | 0.4 | 5 | 60 |
一氧化碳 Carbon monoxide(CO)≤ | Vol.ppm | 0.1 | 1 | 5 |
二氧化碳 Carbon dioxide(CO2)≤ | Vol.ppm | 0.1 | 1 | 5 |
甲烷Methane(CH4)≤ | Vol.ppm | 0.2 | 1 | 10 |
水分Moisture(H2O)≤ | Vol.ppm | 1.0 | 3 | 30 |
产品用途
氢是主要的工业原料,也是重要的工业气体和特种气体。在电子微芯片的制造中,需要采用氢气作为反应气、还原气或保护气。除此之外,氢气在石油化工、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。同时,氢也是一种理想清洁的二次能源,航天工业中更是使用液氢作为燃料。
包装、贮藏
高纯氢充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶规格为10L、40L。具体包装规格可根据客户需求定制更改。高纯氢储存于阴凉、通风的库房中,远离火种、热源。库房采用防爆型照明、通风设施,库温不超过30 ℃,相对湿度不超过80%。