高纯四氟化硅

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2021/09/13
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详细介绍

半导体材料头.jpg

四氟化硅（SiF₄），又称氟化硅分子式为SiF₄，分子量为104.06，是一种无色、有毒、有刺激性臭味的气体。四氟化硅易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。四氟化硅溶于乙醇、醚、硝酸、氢化酸，吸湿性非常强，加压下变成液体，在电子行业中，四氟化硅有着广泛的应用。

产品指标

项目Items	单位Units	指标Index
四氟化硅Silicon tetrafluoride（SiF4）≥	Vol.%	99.999
氢Hydrogen（H2）≤	Vol.ppm	1
氧+氩Oxygen + Argon（O2+Ar）≤	Vol.ppm	0.5
氮Nitrogen（N2）≤	Vol.ppm	4
一氧化碳Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	0.1
二氧化碳Carbon dioxide（CO2）≤	Vol.ppm	0.3
甲烷Methane（CH4）≤	Vol.ppm	1
硫化氢Hydrogen sulfide（SH2）≤	Vol.ppm	0.1
氧气Oxygen（O2）≤	Vol.ppm	0.1
二氧化硫Sulfur dioxide（SO2）≤	Vol.ppm	10
总杂质含量Total impurity content≤	Vol.ppm	1
六氟二甲基硅醚Hexafluorodimethyl silicone ether	供需双方商定	供需双方商定
As、B、P	供需双方商定	供需双方商定
颗粒Particle	供需双方商定	供需双方商定

产品用途

四氟化硅在电子行业中主要用作氮化硅、硅化钽等的P型掺杂剂、蚀刻剂及外延沉积扩散硅源等，还可用于制备电子级硅烷或硅。此外，四氟化硅可用于制备太阳能电池、氟硅酸和氟化硅、水泥和人造大理石的硬化剂。

包装、贮藏

四氟化硅充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶容积分别为8 L、44 L、47 L；钢瓶压力为4.0 MPa。具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化硅储存于阴凉、干燥、通风良好的库房中，远离火种、热源。库温不宜超过30℃，储区应备有泄漏应急处理设备。

山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室，能够大批量生产供应高品质氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料规模化生产线，为公司在锂氟化碳一次电池（BR电池）及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

公司成立于2015年，坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内，项目投资15亿元，占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队，平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年，公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目，成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有：特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。