六氟化硫

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2021/09/13
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详细介绍

半导体材料头.jpg

六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体，分子量为146.07，熔点为-51℃，沸点为-64℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高。六氟化硫具有良好的绝缘性能和灭弧性能，是新一代超高压绝缘介质材料。电子级高纯六氟化硫是一种理想的蚀刻剂，可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物，并可在光导纤维的制造过程中，作为掺杂剂使用。

产品指标

项目Items	单位 Units	指标 Index
六氟化硫（SF₆）Sulfur hexafluoride	Vol./%	≥99.999%
（氧+氩含量）Oxygen+Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	≤2
氮Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	≤2
四氟化碳Carbon tetrafluoride（CF₄）≤	Vol.ppm	≤1
一氧化碳Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	≤0.5
二氧化碳Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	≤0.5
甲烷Methane（CH₄）≤	Vol.ppm	≤0.5
水分Moisture（H₂O）≤	Vol.ppm	≤3
酸度Acidity（以HF计）≤	μg	≤0.1
可水解氟化物Hydrolytic fluoride（以HF计）≤	μg	≤0.8
总杂质含量Total impurity content≤	μg	≤10
颗粒Particle	μg	供需双方协商 Supply and demand agreement

产品用途

电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中六氟化硫用作生产掺氟玻璃的氟源。此外，六氟化硫还可作为绝缘气体、示踪剂、冷冻剂使用。

包装、贮藏

六氟化硫充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶一般容积为40L，钢瓶型号为CGA590 QF-2，钢瓶压力为8.0MPa和12.5MPa。具体包装规格可根据用户要求定制更改。

六氟化硫储存于阴凉、通风的库房，远离火种、热源，库温不宜超过30℃，应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储，储区应备有泄漏应急处理设备。

山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室，能够大批量生产供应高品质氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料规模化生产线，为公司在锂氟化碳一次电池（BR电池）及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

公司成立于2015年，坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内，项目投资15亿元，占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队，平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年，公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目，成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有：特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。