三氟碘甲烷

所属分类：半导体制程（支撑）材料
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发布日期：2021/09/13
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详细介绍

半导体材料头.jpg

三氟碘甲烷，又称三氟甲基碘，分子式为CF₃I，分子量为195.91。常温下三氟碘甲烷为无色无味气体，无毒、阻燃、油溶性和材料相容性好，是传统氟利昂制冷剂的替代品之一，具有灭火效率高，安全性能好，经济效益高等特点。三氟碘甲烷作为半导体刻蚀气体，与同种刻蚀气体CF₄、C₄F₆相比，蚀刻时具有更高的选择性和高深宽比。

产品指标

项目Items	单位Units	指标Index
纯度Purity≥	Vol.%	99.9
（氧+氩）Oxygen+ Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	300
一氧化碳Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	200
氮气Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	200
二氧化碳Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	200
六氟乙烷Hexafluoroethane(C₂F₆)≤	Vol.ppm	50
八氟丙烷Octafluoropropane(C₃F₈)≤	Vol.ppm	50

产品用途

三氟碘甲烷可用作半导体刻蚀气体、电气设备绝缘与灭弧气体、灭火剂、制冷剂等。此外，三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作用，是有机合成中引入氟代甲基的重要含氟中间体，可广泛应用于有机合成、生物化学、农药、医药、表面活性剂和染料等领域。

包装、贮藏

三氟碘甲烷充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶容积分别为10L、47L、400 L，具体包装规格可根据用户需求定制更改。

三氟碘甲烷储存干阴凉、干燥、通风良好的库房，远离火种、热源。库温不宜超过30℃，储区应备有泄漏应急处理设备。

山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室，能够大批量生产供应高品质氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料规模化生产线，为公司在锂氟化碳一次电池（BR电池）及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

公司成立于2015年，坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内，项目投资15亿元，占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队，平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年，公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目，成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有：特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。