四氟化钛

四氟化钛，又称氟化钛，分子式为TiF4，分子量为123.86，熔点为284℃，是一种具有吸湿性的白色粉末。四氟化钛溶于冷水中可分解，溶于硫酸、乙醇和吡啶，不溶于乙醚。四氟化钛在微电子工业、石化等行业中具有重要的应用。

项目Items	单位Units	指标Index
四氟化钛Titanium tetrafluoride（TiF4）≥	wt.%	98.5
重金属含量Heavy metal content≤	wt.%	0.1
氯化物含量Chloride content≤	wt.%	0.15
氟硅酸盐含量Fluorosilicate content≤	wt.%	0.2
铁含量Iron content≤	wt.%	0.1
硫酸盐含量Sulphate content≤	wt.%	0.1

在电子工业中，四氟化钛可用于成膜材料或离子注入掺杂，形成硅化钛或钛膜，制作低电阻、高熔点的电路互联线和栅极。四氟化钛在石化行业中可用作催化剂。

四氟化钛储存于密封的铜质容器中，包装规格为10g、100g，具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化钛储存于阴凉、通风的库房，库温不宜超过37℃，保持容器密封，远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。

所属分类：半导体制程（支撑）材料