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全氟丁二烯(C4F6)是一种无色无味且不溶于水的气体。全氟丁二烯熔点为-132.0℃，沸点为5.9℃。全氟丁二烯属于第三代蚀刻气体，它与传统含氟蚀刻气体相比，具有优越的蚀刻性能和环境性能。
全氟丁二烯由于其独特的F/C比，与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比，具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比，可以蚀刻小于100nm甚至更窄的电子线路。此外，C4F6比c-C4F8具有更高的对光阻和氮化硅选择比，在使用时可以提高蚀刻的稳定性，提高蚀刻速率和均匀度，从而提高产品优良率。
此外，由于全氟丁二烯的环境性能优良，用它取代在氧化膜蚀刻工艺中常用的C3F8和c-C4F8蚀刻气，在排气中可分别降低温室气体全氟化合物（PFCs）体积分数80%和82%。
| 项目 Items | 单位 Unit | 指标 Index |
| C4F6 | Vol.% | ≥99.99 |
| N2 | Vol.ppm | ≤10 |
| O2+Ar | Vol.ppm | ≤2 |
| H2O | Vol.ppm | ≤3 |
| CO2 | Vol.ppm | ≤10 |
| CO | Vol.ppm | ≤3 |
| 异丙醇 Isopropanol | Vol.ppm | ≤5 |
| 其他氟碳化合物 Other fluorocarbon | Vol.ppm | ≤70 |
| 活性氟化物 （Measured by HF） | Wt.ppm | ≤2 |
应用于半导体芯片的干法刻蚀气。
铝白色钢瓶，钢瓶型号DOT-3AA，瓶阀型号CGA350，产品规格分为10kg/瓶、20kg/瓶和40kg/瓶三种，包装规格可根据客户需求定制。
贮存 storage
贮存于阴冷通风干燥处，远离火种、热源。
